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空檢漏的意義？
答：真空系統(tǒng)的極限真空決定于系統(tǒng)的抽速和漏氣量，故在抽速一定時(shí)，漏氣量就決定了真空度，欲使系統(tǒng)達(dá)到預(yù)定的極限真空，必須通過(guò)檢漏和堵漏使系統(tǒng)的漏氣量控制在允許漏率范圍內(nèi)。從原理上講，真空檢漏可分為哪兩大類？答：可以分為：1）壓力檢漏法，包括①充氣檢漏法，②鹵素檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包括①高頻火花檢漏法，②真空計(jì)檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。
簡(jiǎn)述真空泵的抽氣原理？答：1）利用壓縮作用將氣體排除到泵外。a.機(jī)械周期式膨脹壓縮，b.蒸汽流粘滯牽引壓縮，c.剛性表面的牽引壓縮。2）利用吸附作用將氣體束縛于泵內(nèi)。a.利用電離吸氣作用，b.利用物理吸附和化學(xué)吸附作用。
真空計(jì)，又叫真空規(guī)。半導(dǎo)體設(shè)備中，不可避免的用到真空計(jì)，主要是用來(lái)測(cè)量某一個(gè)腔室或者管道中的壓強(qiáng)。
是什麼？能做什么？怎么用？1，是什麼？真空計(jì)，字面意思，計(jì)量真空度的儀器。2，能做什么？真空計(jì)主要用來(lái)測(cè)量真空，或者叫測(cè)量壓強(qiáng)大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強(qiáng)大，真空計(jì)顯示的數(shù)值就大；反之，真空計(jì)顯示的數(shù)值小。
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不同測(cè)量范圍的加熱電流也有差異。因此，在使用熱偶計(jì)時(shí)，應(yīng)按不同的量程確定規(guī)管的加熱電流。①10～10-1Pa量程：規(guī)管須垂直倒置，在真空度優(yōu)于10-2Pa時(shí)調(diào)定加熱電流(此時(shí)熱電勢(shì)為10mV，即滿刻度)，其加熱電流可調(diào)節(jié)范圍為95～150mA。②102～10Pa量程：規(guī)管須垂直倒置，在0.1MPa時(shí)調(diào)定加熱電流，其加熱電流可調(diào)節(jié)范圍為175～300mA或以上。
熱偶計(jì)規(guī)管的結(jié)構(gòu)較電阻式規(guī)管復(fù)雜一些，但p-E校準(zhǔn)曲線受外界溫度的影響較小。 MEMS傳感器具有小型化、低成本、、易與CMOS集成電路兼容等特點(diǎn)。在不同類型的MEMS傳感器中， 很普遍、應(yīng)用 很廣泛的是壓阻式和電容式傳感器。與壓阻式傳感器相比，電容式傳感器具有靈敏度高、溫度系數(shù)低、功耗低等優(yōu)點(diǎn)。
MEMS電容薄膜真空計(jì)作為MEMS電容式傳感器的一種，能夠滿足深空探測(cè)、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域?qū)φ婵諟y(cè)量?jī)x器測(cè)量準(zhǔn)確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應(yīng)用需求，具有廣泛的應(yīng)用前景。MEMS電容薄膜真空計(jì)包含真空規(guī)管和測(cè)量電路兩個(gè)部分。其中，真空規(guī)管將真空度轉(zhuǎn)化成電容量，測(cè)量電路對(duì)電容量進(jìn)行處理得到真空度的值。MEMS電容薄膜真空規(guī)管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法，其電容變化量為幾飛法甚至更小。
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伴隨著人工智能技術(shù)及其物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)，inficon電容塑料薄膜真空計(jì)的運(yùn)用范疇早已從航天航空等高技術(shù)行業(yè)向通俗化行業(yè)擴(kuò)展，這促使其需要量增大，類型大量，充分考慮銷售市場(chǎng)的產(chǎn)品研發(fā)經(jīng)濟(jì)成本，產(chǎn)品研發(fā)和設(shè)計(jì)方案能達(dá)到不一樣種類的inficon電容塑料薄膜真空計(jì)的電路是下面inficon電容塑料薄膜真空計(jì)細(xì)微電容測(cè)量電路的具體發(fā)展前景。
上世紀(jì)50時(shí)代，D.J.Pacey科學(xué)研究用石英晶振測(cè)量氣體壓強(qiáng)。他選用雙三級(jí)管（整流管）做電路，其一側(cè)與晶振組成Pierce-Miller震蕩器，晶振放置被測(cè)汽體中作氣體壓強(qiáng)感應(yīng)器。當(dāng)氣體壓強(qiáng)轉(zhuǎn)變時(shí)，陽(yáng)極氧化電流量也隨著轉(zhuǎn)變。據(jù)悉該儀器設(shè)備能測(cè)105Pa到13.3Pa的氣體壓強(qiáng)。
中國(guó)在90時(shí)代也有些人研發(fā)了石英真空計(jì)，常用電路是以晶振自身為頻率液壓控制系統(tǒng)的自震蕩，自電路。測(cè)量范圍為0.1Pa~2×105Pa。非常近大家研發(fā)的DL-10A型石英真空計(jì)選用FC135晶振，測(cè)量范圍為5×10-1~105Pa?，F(xiàn)階段已經(jīng)有石英真空計(jì)商品，例如：CC-10真空計(jì)測(cè)量范圍是1.33×10-2Pa到大氣壓力，M-320XG晶振真空計(jì)測(cè)量范圍是1X10-1Pa到大氣壓，DL-10A型石英真空計(jì)測(cè)量范圍是5X10-1Pa到大氣壓力。其特點(diǎn)為：感應(yīng)器體型小，耗電量輸出功率?。s1W），精密度較高（約10%），測(cè)量范圍較寬（10-1~105Pa）等。
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